圖源：路透

消息人士稱，韓國設備廠商Auros Technology已經從多家韓國和日本芯片制造商獲得了8英寸晶圓overlay測量設備的訂單，其8英寸OL-100n正在由多達5家公司進行評估。

據TheElec報道，隨著8英寸SiC和GaN芯片需求不斷增長，全球對8英寸晶圓的需求正在增加。Auros Technology的OL-100n是對原來生產12英寸晶圓的設備進行改進后生產的，可支持6英寸和8英寸晶圓。

據了解，在晶圓制造過程中，設計好的電路圖要先刻在晶圓上，然后再對晶圓進行切割和封裝。overlay測量設備用于檢查晶圓上的電路圖案是否正確對齊，將這一過程直接影響晶圓制造的成品率。

Auros Technology此前表示，其OL-100n設備可以對化學物質做出靈活反應并檢測電路團，還具備測量硅片上的氧化物和鋁膜的功能。該設備正被中國臺灣和韓國代工工廠采用，并被韓國研究機構用于芯片研究。