據業內人士透露，臺積電將啟動先導計劃，預計最新2納米以下（1納米）制程擬落腳新竹科學園區轄下的桃園龍潭園區。對此臺積電今（31）日回應：不排除任何可能性，持續評估在臺適合半導體建廠用地。

據臺媒《工商時報》報道，業內人士稱，由于臺積電在龍科已有2個先進封測廠，再加上竹科的地緣、人才支持，“這是最好的位置”。該報道預估臺積電1納米制程將于2027年量產。

對此，據臺媒《中央社》報道，臺積電回應稱，設廠地點選擇有諸多考量因素，臺積電會繼續在中國臺灣投資先進制程，不排除任何可能性，并持續評估在臺適合半導體建廠用地。一切以公司正式對外公告為主。

據悉，竹科轄下的龍潭園區基地現有從業員工數約7000人，整體年營業額超過500億元新臺幣，進駐項目主要為集成電路、光電與生技產業等，已有包括臺積電、合晶科技、蘋果分公司等產業進駐。

2021年，臺積電、臺大與MIT攜手研發出半導體新材料鉍，宣稱能大幅降低電阻并提高傳輸電流，有助于未來突破摩爾定律極限。這項研究成果由臺大電機系暨光電所教授吳志毅與臺積電和MIT研究團隊共同完成，已在國際期刊Nature上發表，有助應對半導體1nm以下制程挑戰。