眾所周知，近日關(guān)于光刻機(jī)的禁令靴子落地了。

按照荷蘭的規(guī)則，用于14nm及以下芯片的制造的設(shè)備/技術(shù)，不能出口，除非獲得許可證。原則基本與美國(guó)是一致的。

在光刻機(jī)上，荷蘭稍微的放開(kāi)了一點(diǎn)點(diǎn)，那就是浸潤(rùn)式光刻機(jī)中，TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)型號(hào)不能出口，但NXT:1980Di可以出口。

這款NXT:1800Di光刻機(jī)，非常特殊，采用193nm光源，分辨率小于等于38nm，數(shù)值孔徑為1.35NA，目前全球晶圓廠們?cè)谑褂盟鼤r(shí)，大多是生產(chǎn)14nm以上邏輯工藝，也就是28nm及以上。

但另外一方面，它又是一臺(tái)浸潤(rùn)式光刻機(jī)，雖然是193nm光源，但經(jīng)過(guò)水介質(zhì)之后，等效于134nm的光源，那么經(jīng)過(guò)多重曝光之后，理論上依然可以滿足14nm甚至7nm左右的工藝生產(chǎn)。

所以它是一臺(tái)比較敏感的光刻機(jī)，可以禁止出口，也可以不禁止，就看如何去定性了。

也因?yàn)樗拿舾行裕珹SML也有點(diǎn)左右為難，所以有媒體報(bào)道稱，ASML正在做一個(gè)計(jì)劃，那就是閹割這臺(tái)NXT:1980Di光刻機(jī)，使其不敏感，能夠不受爭(zhēng)議的出口到中國(guó)來(lái)。

怎么閹割呢，就是對(duì)其支持的工藝進(jìn)行改進(jìn)，比如說(shuō)讓它無(wú)法支持到14nm及7nm這個(gè)級(jí)別，只能讓他用于28nm工藝。

這樣ASML就可以沒(méi)有爭(zhēng)議的將它出口出去，不會(huì)有任何問(wèn)題。

要知道之前日本，為了解決這種有爭(zhēng)議的設(shè)備，也就是既能用于28nm及以上的工藝，也能用于14nm及以下工藝的設(shè)備，日本是直接一刀切，全部禁止出口的。

但對(duì)于ASML而言，又不想這么干，因?yàn)槿绻慌_(tái)浸潤(rùn)式光刻機(jī)也不能賣(mài)到中國(guó)來(lái)，那么中國(guó)有可能研發(fā)出自己的光刻機(jī)，那么ASML就可能與中國(guó)市場(chǎng)無(wú)緣了。

ASML的總裁溫克寧曾經(jīng)說(shuō)過(guò)說(shuō)，如果對(duì)中國(guó)進(jìn)行禁售，要不了多久，中國(guó)什么都能自己搞出來(lái)，那么就沒(méi)我們什么事了。

所以對(duì)于ASML而言，一方面是不想丟掉中國(guó)這個(gè)市場(chǎng)，但另外一方面又要讓出口的光刻機(jī)，沒(méi)有爭(zhēng)議，所以閹割其受爭(zhēng)議的功能，確實(shí)是一個(gè)好辦法，畢竟英偉達(dá)、英特爾都干過(guò)類(lèi)似的事情，將芯片進(jìn)行閹割，讓它能夠符合出口禁令，不被管制。

當(dāng)然，以上也只是媒體的猜測(cè)，ASML會(huì)不會(huì)真的這么干，還是一個(gè)未知數(shù)，但說(shuō)實(shí)話，這事是完全有可能發(fā)生的，因?yàn)锳SML有動(dòng)力，有理由這么干。

最后，還是希望國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)趕緊雄起，先不說(shuō)EUV光刻機(jī)，只要我們自己能夠研發(fā)出浸潤(rùn)式光刻機(jī)，情況就會(huì)立即改變，一旦我們有了，禁令估計(jì)也就沒(méi)有任何意義了，就像刻蝕機(jī)一樣，我們擁有3nm技術(shù)的刻蝕機(jī)，所以刻蝕機(jī)就不存在禁令。