據外媒報道稱，德國政府愿意在5年內計劃提供約4000億歐元，補助愿意到德國投資的廠商。德國政府預估到2027年，將安排2120億歐元“氣候與轉型基金”，補助低碳建筑、電動車、工業綠氫和投資，協助德國轉型至低碳經濟。為了吸引全球半導體廠商到德國投資，先由此基金支出補助投資德國的外商。

臺積電、英特爾已經陸續宣布在德國設廠。德國政府規劃，英特爾的馬德堡兩座先進工藝晶圓廠斥資達300億美元，獲99億歐元補助。臺積電與德國的羅伯特博世、英飛凌科技公司、荷蘭的恩智浦半導體公司這三家合作伙伴合資在德累斯頓市建設新晶圓廠，則獲50億歐元補助。

僅英特爾與臺積電建廠計劃德，國政府就補助約150億歐元，引起熱烈討論。德國車用電子廠商英飛凌（Infineon）的德累斯頓擴產計劃，獲10億歐元補助。攜手汽車零件大廠采埃孚（ZF Friedrichshafen）合作設廠的美國第三類半導體碳化矽晶圓廠商Wolfspeed，獲5億歐元補助。

臺積電在德國建合資廠，總投資預計將超過100億歐元，包括股權注入、債務借貸以及歐盟和德國政府的大力支持。臺積電德累斯頓新工廠采用臺積電28/22納米平面CMOS和16/12納米FinFET工藝技術，預計月產能為40000片300毫米（12英寸）晶圓。

臺積電僅拿出近35億歐元，卻占有70％股權，而且享有營運管理權利，其他三家合資企業各占10%股份。目前尚未證實該50億歐元德國政府補貼若屬實，但對臺積電來說獲利不小。

德國為何如此慷慨解囊，斥資大筆資金補貼來德國建廠的企業？顯然，汽車芯片荒給歐洲帶來的打擊很大，而以汽車為支持產業的德國為了確保未來有足夠的芯片能應用在電動車上，自然是樂見其成。臺積電在美國設先進晶圓廠，在歐洲設成熟工藝的晶圓廠，主要是對汽車芯片的大量需求。不過，德國《奧格斯堡日報》援引奧迪采購主管Renate Vachenauer的話來看，盡管芯片制造商計劃在德國建廠，但半導體短缺給德國汽車業造成的瓶頸仍將持續數年。德國高管和決策者們正在考慮重組供應鏈，試圖減少對少數亞洲和美國芯片供應商的依賴。

其次，《歐洲芯片法》（European Chips Act）提供總額430億歐元經費，但法案細分為三個支柱（pillar），對應三個領域：科研與創新、半導體制造、供應鏈危機管理，而目前歐盟公布的資金分配重點都在科研與創新，目的在“公共投資觸發私人投資”。因此《歐洲芯片法》的補貼，與臺積電、英特爾等企業的情況不符。

此外，臺積電美國、日本、德國多點布局，其擴張必然引起“人工不足”的問題，德累斯頓又能提供多少技術工人與合格的工程師還未可知，可能臺積電也已經將損失成本考慮在內。