今年上海進博會上，光刻機霸主ASML再度亮相。ASML全球副總裁、中國區總裁沈波就光刻機再次表態，他表示向我國出口集成電路光刻機持開放態度，在法律法規框架下全力支持。不過，EUV光刻機依然無法出貨給大陸客戶，但除此之外其他產品都可以出貨。也就是說，DUV光刻機不受其他限制。

此前，ASML曾連續四次公開表態。第一次表示會加快布局我國市場，提供更加完善的售后服務。第二次直接表示向國內廠商銷售DUV光刻機，不需要許可。第三次直接提高了對我國市場的營收預期。在去年的進博會上，ASML第四次表示向我國出售光刻機持開放態度。

從ASML的這次表態來看，EUV光刻機依然遲遲難見希望。眾所周知，中芯國際在三年前曾花費1．5億美元向ASML訂購了一臺EUV光刻機，原本應該于2019年初就交貨，但由于美方阻撓，ASML拿不到許可證，至少未交付。

在今年3月初，中芯國際宣布和ASML簽訂了延長采購協議至今年年底，協議總價為12億美元。按照產品金額來算，至少可以購買幾十臺DUV光刻機。

對于中芯國際而言，公司今年分別在北京、上海、深圳增資加碼擴大產能，DUV光刻機無疑成為了最為重要的設備之一。但新的問題出現了，據臺媒報道，目前中芯國際跟ASML續簽的這個訂單的DUV光刻機還沒有到貨。并且隨著采購協議的最后期限臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，從而危及中芯國際未來的產能計劃。

根據沈波的說法，DUV光刻機應該是不受限制的，而遲遲無法供貨的原因是，由于全球缺芯導致的光刻機需求增大，雖然ASML已經在盡力擴大產能，但依然不能滿足用戶需求。并且由于涉及的幾千家配套供應商只能提供85％的零部件，因此有的產品交付期甚至要翻倍。

這意味著光刻機的訂單太多，ASML雖能擴大產能，但供應商的配套部件跟不上，導致光刻機交貨期也得延長。

另一方面，此前中芯國際宣布與ASML達成批量設備采購延長協議之后，美國共和黨眾議員麥考爾和魯比奧還曾聯合致信美國商務部長雷蒙多稱，基于中芯國際協助中國大陸追求“取代美國在全球的領先地位”方面發揮的作用，為保護美國的國家安全利益，要求拜登政府勸說荷蘭政府阻止ASML出售DUV光刻機賣給中芯國際，并且還須與盟國達成協議，統一出口限制和許可權，限制類似DUV和EUV光刻等技術設備的出售。顯然，訂單積壓也許是中芯國際訂購的DUV未能如期交貨的原因之一，但背后又是否還存在其他的阻礙因素也不好說。