12月21日消息，韓國光刻膠供應(yīng)商東進(jìn)世美肯(Dongjin Semichem)表示，近日通過了三星電子的EUV光刻膠可靠性測試（合格）。這款光刻膠為雙方合作研發(fā)，打破韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應(yīng)商的局面，最快有望明年上半年向產(chǎn)線批量供應(yīng)。

據(jù)ETNews報道，業(yè)內(nèi)人士表示，“東進(jìn)世美肯在其位于京畿道的華城工廠開發(fā)了EUV光刻膠，并在三星電子的華城EUV生產(chǎn)線進(jìn)行了測試，最終獲得了資格。”并補充道：“兩家公司的合作，使得EUV光刻膠能夠以高技術(shù)水平快速開發(fā)。”