2月23日，中微公司公告，2021年實現營業收入31.08億元，同比增長36.72%；歸母凈利潤10.11億元，同比增長105.49%；基本每股收益1.76元。

對于業績變動的原因，中微公司表示，主要系：受益于半導體設備市場發展及公司產品競爭優勢，2021 年刻蝕設備收入為20.04億元，較2020年增長約55.44%，毛利率達到44.31%；由于下游市場原因以及本年新簽署的Mini-LED MOCVD設備規模訂單尚未確認收入，2021年MOCVD設備收入為5.03億元，較2020年增長約1.53%，但MOCVD 設備的毛利率達到33.77%，較2020年的18.65%有大幅度提升。公司2021年新簽訂單金額為41.3億元，較2020年增加約19.6億元，同比增加約90.5%。

據悉，因實施股權激勵計劃，公司2021年產生股份支付費用2.15億元，較2020年的1.24億元增加約0.91億元（屬于經常性損益）。