市場持續缺芯，新訂單源源不斷，增添了晶圓制造企業底氣。最近，多家晶圓制造廠商陸續公布了2022年資本支出計劃，馬來西亞最大晶圓代工廠SilTerra日前宣布，擬投資6.45億令吉（約合1.5億美元）擴產，目標將年產能提高20%。

據SEMI數據，2021年全球半導體制造設備總銷售額將首次突破1000億美元大關，達到1030億美元，較2020年的全球半導體設備銷售額710億美元增長44.7%，預計今年將增長至1140億美元。分析人士表示，我國已成為全球最大半導體設備市場，本土半導體設備已在多個細分領域實現關鍵技術突破，看好本土半導體設備投資機會。

相關上市公司中：

中微公司等離子體刻蝕設備已應用在國際一線客戶從 65 納米到 14 納米、 7 納米和 5 納米及其他先進的集成電路加工制造生產線及先進封裝生產線。

長川科技成功開發了我國首臺具有自主知識產權的全自動超精密探針臺，兼容8/12寸晶圓測試。