中商情報網訊：半導體設備是整個半導體產業的重要支撐產業，從中長期來看相關半導體設備廠商有望深度受益于先進芯片制造設備出口管制政策加速收緊，半導體設備國產化率有望加速提升。

半導體設備市場規模

半導體設備是半導體產業的先導、基礎產業，具有技術壁壘高、研發周期長、研發投入高、制造難度大、設備價值高、客戶驗證壁壘高等特點，是半導體產業中最難攻克卻至關重要的一環。2022年中國半導體預計將繼續增長，規模達到2745.15億元。預計2023年中國大陸半導體市場規模將達3032億元。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

半導體設備零部件

1.核心環節

半導體零部件按照類型分，可以分為6類：分別為機械類、電氣類、機電一體類、氣體/液體/真空系統類、儀器儀表類、光學類。

資料來源：中商產業研究院整理

2.核心子系統

半導體設備的關鍵子系統主要分為8大類，可分為：氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統、光學系統、電源及氣體反應系統、熱管理系統、晶圓傳送系統、集成系統，每個子系統亦由數量龐大的零部件組合而成。

資料來源：中商產業研究院整理