中商情報網訊：半導體質量控制設備可分為檢測設備和量測設備。檢測和量測環節貫穿集成電路制造全過程，是保證芯片生產良品率非常關鍵的環節。隨著制程越來越先進、工藝環節不斷增加，行業發展對工藝控制水平提出了更高的要求，制造過程中檢測設備與量測設備的需求量將倍增。

全球半導體檢測和量測設備市場規模高速增長，根據 VLSI Research 的統計，2016 年至 2020 年全球半導體檢測與量測設備市場規模的年均復合增長率為12.6%，其中 2020 年全球市場規模達到 76.5 億美元，同比增長 20.1%。預計2022年全球半導體檢測與量測設備市場規模將超90億美元。

數據來源：VLSI Research、QY Research、中商產業研究院整理

從產品結構來看，檢測設備占比為 62.6%，包括無圖形晶圓缺陷檢測設備、圖形晶圓缺陷檢測設備、掩膜檢測設備等；量測設備占比為 33.5%，包括三維形貌量測設備、薄膜膜厚量測設備（晶圓介質薄膜量測設備）、套刻精度量測設備、關鍵尺寸量測設備、掩膜量測設備等。

數據來源：VLSI Research、QY Research、中商產業研究院整理

全球半導體檢測和量測設備市場也呈現國外設備企業壟斷的格局，全球范圍內主要檢測和量測設備企業包括科磊半導體、應用材料、日立等。科磊半導體一家獨大，根據 VLSI Research 的統計，其在檢測與量測設備的合計市場份額占比為 50.8%，全球前五大公司合計市場份額占比超過了 82.4%，均來自美國和日本，市場集中度較高。

數據來源：VLSI Research、QY Research、中商產業研究院整理