中商情報網訊：在國家安全、卡脖子壓力下，半導體設備市場需求增加；國家支持和市場需求調動了各路產業(yè)資本跑步進入半導體設備領域；國內全產業(yè)鏈大力配合支持，半導體設備研發(fā)工作相比此前大幅提速，半導體設備國產化率的穩(wěn)步提升。

一、半導體設備定義

半導體專用設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備，屬于半導體行業(yè)產業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié)。在整個芯片制造和封測過程中，會經過上千道加工工序，細分又可以劃分出百種不同的機臺，主要有：光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機、半導體芯片測試設備、分選機、探針臺等，具體如圖所示：

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

二、半導體設備行業(yè)發(fā)展政策

近年來，中國半導體設備行業(yè)受到各級政府的高度重視和國家產業(yè)政策的重點支持。國家陸續(xù)出臺了多項政策，鼓勵半導體設備行業(yè)發(fā)展與創(chuàng)新，《虛擬現實與行業(yè)應用融合發(fā)展行動計劃（2022-2026年）》《深圳市培育發(fā)展半導體與集成電路產業(yè)集群行動計劃（2022-2025年）》《“十四五”數字經濟發(fā)展規(guī)劃》等產業(yè)政策為半導體設備行業(yè)的發(fā)展提供了明確、廣闊的市場前景，為企業(yè)提供了良好的生產經營環(huán)境。具體情況列示如下：

資料來源：中商產業(yè)研究院整理

三、半導體設備行業(yè)發(fā)展現狀

1.市場規(guī)模

半導體設備是半導體產業(yè)的先導性、基礎產業(yè)，具有技術壁壘高、研發(fā)周期長、研發(fā)投入高、制造難度大、設備價值高、客戶驗證壁壘高等特點，是半導體產業(yè)中最難攻克卻至關重要的一環(huán)。2022年中國半導體預計將繼續(xù)增長，規(guī)模達到2745.15億元。預計2023年中國大陸半導體市場規(guī)模將達3032億元。

數據來源：SEMI、中商產業(yè)研究院整理

2.市場結構

從細分產品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備主要核心設備，市場占比均在20%以上。其中，光刻機的市場占比為24%、刻蝕機、薄膜沉積設備市場占比均為20%。此外，測試設備和封裝設備的市場占比分別為9%、6%。

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3.細分市場

（1）光刻機

全球半導體設備行業(yè)復蘇,受益于下游晶圓巨大需求、服務器云計算和5G基礎建設的發(fā)展,相關芯片的需求增加。2021年全球光刻機銷量為450臺，2022年約為510臺，隨著下游市場需求持續(xù)升高，預計2023全球市場仍將持續(xù)增長，銷量將超550臺。

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（2）刻蝕機

近年來，由于云計算和人工智能的快速發(fā)展，芯片需求不斷增長，進而使得刻蝕設備需求維持高增長，2021年市場規(guī)模達375.28億元，同比增長50%。2022年市場規(guī)模約為410億元，隨著國內行業(yè)政策的加持，以及疫后復蘇對于半導體芯片的龐大需求，預計2023年市場規(guī)模將達480億元。

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4.融資情況

2023年上半年，國產半導體設備的早期融資成為VC、PE熱捧的“黃金賽道”。多家公司單次融資達數千萬元級別，甚或達到數億元級別。

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四、半導體設備行業(yè)重點企業(yè)

1.北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司主要從事半導體基礎產品的研發(fā)、生產、銷售和技術服務。主要產品為電子工藝裝備和電子元器件。北方華創(chuàng)是國內設備廠商龍頭企業(yè)，主營氧化擴散設備、刻蝕設備（干法刻蝕）、薄膜沉積工藝CVD和PVD、清洗設備等，幾乎涵蓋了半導體設備全領域。

2023年第一季度實現營業(yè)收入38.71億元，同比增81.23%；實現歸母凈利潤5.92億元，同比增長187.38%。2022年主營產品包括電子工藝裝備、電子元器件，占比分別為82.27%、17.53%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

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2.中微公司

中微半導體設備(上海)股份有限公司的主營業(yè)務是半導體設備及泛半導體設備的研發(fā)、生產和銷售。中微公司的主要產品有電容性等離子體刻蝕設備，電感性等離子體刻蝕設備，MOCVD設備，VOC設備。

2023年第一季度實現營業(yè)收入12.23億元，同比增長28.87%；實現歸母凈利潤2.75億元，同比增長135.04%。2022年主營產品包括專用設備、備品備件、服務收入，占比分別為81.17%、17.62%、1.21%。

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3.盛美上海

盛美半導體設備(上海)股份有限公司主要從事高端半導體設備的研發(fā)、生產和銷售。主要產品為半導體清洗設備、半導體電鍍設備和先進封裝濕法設備等。

2023年第一季度實現營業(yè)收入6.16億元，同比增長74.01%；實現歸母凈利潤1.31億元，同比增長3175%。2022年主營產品包括半導體清洗設備、先進封裝濕法設備，占比分別為72.34%、5.57%。

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4.長川科技

杭州長川科技股份有限公司主要從事集成電路專用測試設備的研發(fā)、生產和銷售,是一家致力于提升我國集成電路專用測試技術水平、積極推動集成電路裝備業(yè)升級的國家高新技術企業(yè)和軟件企業(yè)。長川科技主要產品包括集成電路測試機、分選機。

2023年第一季度實現營業(yè)收入3.2億元，同比下降40.52%；歸母凈利潤虧損0.57億元。2022年主營產品包括分選機、測試機，占比分別為48.71%、43.32%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

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5.拓荊科技

拓荊科技股份有限公司主要從事高端半導體專用設備的研發(fā)、生產、銷售和技術服務。拓荊科技主要產品為半導體薄膜沉積設備包括PECVD設備、ALD設備及SACVD設備三個系列。

2023年第一季度實現營業(yè)收入4.02億元，同比增長272.22%；實現歸母凈利潤0.54億元，同比增長550%。2022年主營產品包括PECVD設備、SACVD設備、ALD設備，占比分別為91.65%、5.25%、1.91%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

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五、半導體設備行業(yè)發(fā)展前景

1.國家政策大力支持設備國產化提升

半導體行業(yè)是現代信息技術產業(yè)的基礎和核心，事關國民經濟和社會發(fā)展。在外部因素的影響下，半導體制程實現自主可控成為了我國在該領域的戰(zhàn)略方向。近年來，中央及地方政府對半導體行業(yè)給予了高度重視和大力支持，出臺了一系列扶持政策，相關政策和法規(guī)為半導體及行業(yè)及專用設備行業(yè)提供了資金、稅收、技術和人才等多方面的有力支持，為國產半導體設備企業(yè)營造了良好的經營環(huán)境，大力促進了國內半導體及其專用設備產業(yè)發(fā)展，提升國產半導體設備企業(yè)的競爭力。

2.半導體應用和消費市場需求穩(wěn)定增長

物聯網、5G通信、汽車電子等新型應用市場的不斷發(fā)展產生了巨大的半導體產品需求，推動半導體行業(yè)進入新一輪的發(fā)展周期。全球范圍內，晶圓廠產能擴充仍在繼續(xù)，下游需求的不斷發(fā)展為半導體設備制造產業(yè)的擴張和升級提供了機遇。

3.半導體產業(yè)重心轉移為本土設備廠商提供巨大機遇

憑借巨大的市場容量以及多年的發(fā)展，廣闊的下游市場和不斷完善的上下游產業(yè)鏈帶動全球產能重心逐步向中國大陸轉移，中國已然成為全球最大的半導體消費國和生產國。預計半導體產業(yè)規(guī)模的不斷擴大將為國內設備廠商帶來巨大發(fā)展機遇，國產設備將加速導入大陸晶圓廠，因此國產半導體設備有望迎來快速發(fā)展期。