中商情報網訊：電子特氣有著芯片加工之“糧食”的稱號，主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏電池領域，貫穿晶圓加工的制備外延片、清洗、沉積和氧化成膜、光刻、刻蝕、摻雜各環節。當前，電子特氣國產替代空間廣闊，國內電子特氣龍頭或將受益于下游需求回暖和國產化率的提升。

一、電子特氣定義

電子特氣指的是工業氣體中附加值比較高的特殊用途氣體。與傳統工業氣體在純度和用途上有所區分。特種氣體的生產過程中涉及合成、純化、混合配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術，流程較為復雜。

電子特種氣體是指應用于電子行業的氣體，其質量直接影響電子器件的成品率和性能。目前半導體行業各個環節使用的特種氣體有114種，常用的有44種。主要包含有三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，一般采用液態與瓶裝氣體生產模式，廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環節。電子特氣主要產品類別如下：

資料來源：中商產業研究院整理

二、電子特氣行業發展政策

電子特種氣體作為關鍵性電子材料，近年來得到國家產業政策的大力支持。國家發改委、科技部、工信部、財政部、國家稅務總局等部門相繼出臺了《產業結構調整指導目錄（2023年本，征求意見稿）》《原材料工業“三品”實施方案》《“十四五”原材料工業發展規劃》《關于“十四五”推動石化化工行業高質量發展的指導意見》《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2021年版）》等一系列產業支持政策，有力推動了電子特種氣體產業的發展。國內氣體企業紛紛加大研發投入，不斷突破技術難關，逐步實現電子特種氣體產品的國產替代。具體政策如下：

資料來源：中商產業研究院整理

三、電子特氣行業發展現狀

1.電子特氣市場規模

電子特種氣體是半導體制造的關鍵原材料，主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環節。近年來，中國電子特種氣體市場規模持續增長。中商產業研究院發布的《2023-2028年中國電子特氣專題研究及發展前景預測評估報告》顯示，2022年電子特種氣體市場規模220.8億元。我國電子特氣市場規模的增長率明顯高于全球電子特氣增長率，未來有較大發展空間。預計2023年中國電子特氣市場規模逼近250億元，2024年市場規模將達262.5億元。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

2.競爭格局

中國電子特氣行業發展時間較短，目前市場仍由早期進入市場的國外企業壟斷。數據顯示，中國電子特氣市場前四企業分別為美國空氣化工、德國林德集團、法國液化空氣、日本太陽日酸，占比分別為25%、23%、22%、16%。

目前，國內電子特氣第一梯隊的廠商已經具備規模生產能力，在細分領域產品具有一定優勢，但和國外龍頭企業相比還有較大差距，國產替代空間巨大。

數據來源：中商產業研究院整理

3.重點企業分析

我國電子特氣行業經過30年的發展和沉淀，通過不斷的經驗積累和技術進步，業內領先企業已在部分產品上實現突破，達到國際標準，逐步實現進口替代，特種氣體國產化具備了客觀條件。

華特氣體以高純六氟乙烷入手，已實現進口替代并規模化供應產品高達50余種，數量在國內特氣公司中居于領頭位置；中船特氣部分產品品質已達到國際領先水平，是國內首個進入5nm制程的電子特氣供應商，旗下六氟化鎢、三氟化氮等產品以實現國產替代；南大光電成功實現了高純砷烷、磷烷等特種電子氣體的產業化，打破了國外技術封鎖和壟斷，同時氫類電子特氣在技術、品質、產能和銷售各方面已躍居世界前列。

資料來源：中商產業研究院整理

4.電子特氣企業注冊量

近年來，受益于集成電路產業發展，電子特氣快速成長，相關企業大量涌現。數據顯示，2022年電子特氣相關企業注冊量快速增長，企業注冊量突破1萬家，同比增長22%。最新數據顯示，2023年1-10月電子特氣新增注冊企業11869家，同比增長32.7%。

數據來源：企查查、中商產業研究院整理

5.下游應用情況

電子特種氣體主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏等領域。其中，集成電路占比最多，達43%。其次分別為顯示面板、LED、光伏，占比分別為21%、13%、6%。

數據來源：中商產業研究院整理

四、電子特氣行業重點企業

1.華特氣體

廣東華特氣體股份有限公司是一家致力于特種氣體國產化，并率先打破極大規模集成電路、新型顯示面板、高端裝備制造、新能源等尖端領域氣體材料進口制約的民族氣體廠商。公司主營業務以特種氣體的研發生產及銷售為核心，輔以普通工業氣體和相關氣體設備與工程業務，提供氣體一站式綜合應用解決方案，產品廣泛應用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、航天航空、高端裝備制造、食品、冶金、化工、機械制造、人工智能制造等眾多行業。

2023年前三季度，華特氣體實現營業收入11.29億元，同比下降19.51%；實現歸母凈利潤1.22億元，同比下降34.63%。

數據來源：中商產業研究院整理

2022年華特氣體主營業務包括特種氣體、設備及工程、普通工業氣體，占比分別為73.33%、12.96%、12.21%。

數據來源：中商產業研究院整理

2.金宏氣體

金宏氣體股份有限公司是一家專業從事氣體研發、生產、銷售和服務的環保集約型綜合氣體供應商，主營業務可分為特種氣體、大宗氣體和燃氣三大類，氣體品種約100多種，公司主要產品應用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、高端裝備制造、食品、冶金、化工、機械制造等眾多領域，其中在電子半導體領域，公司已逐步實現了超純氨、高純氧化亞氮、電子級正硅酸乙酯、高純二氧化碳等產品的進口替代。

2023年前三季度，金宏氣體實現營業收入17.8億元，同比增長23.87%；實現歸母凈利潤2.59億元，同比增長53.31%。

數據來源：中商產業研究院整理

2023年上半年，金宏氣體主營產品包括特種氣體、大宗氣體、燃氣，占比分別為48.61%、36.51%、8.49%。

數據來源：中商產業研究院整理

3.雅克科技

江蘇雅克科技股份有限公司主要致力于電子半導體材料，深冷復合材料以及塑料助劑材料研發和生產。公司電子材料業務產品種類豐富，主要包括半導體前驅體材料、光刻膠及配套試劑、電子特氣、硅微粉和半導體材料輸送系統（LDS）等。雅克科技的電子特氣業務主要通過全資子公司科美特進行，主要包括含氟類特種氣體的研發、生產、提純與銷售，主要產品為六氟化硫和四氟化碳。

2023年前三季度，雅克科技實現營業收入35.42億元，同比增長11.84%；實現歸母凈利潤4.81億元，同比增長3.73%。

數據來源：中商產業研究院整理

2023年上半年，雅克科技的電子特種氣體業務實現營業收入2.03億元，占總營收的8.72%。

數據來源：中商產業研究院整理

4.南大光電

江蘇南大光電材料股份有限公司創辦于2000年，是從事先進電子材料生產、研發和銷售的高新技術企業，形成前驅體材料、電子特氣和光刻膠三大核心業務布局。產品廣泛應用于制備IC、LCD、LED、OLED、功率器件、半導體激光器等領域。其中，電子特氣板塊主要包括氫類電子特氣產品和含氟電子特氣產品。

2023年前三季度，南大光電實現營業收入12.81億元，同比增長1.70%；實現歸母凈利潤2.15億元，同比增長1.98%。

數據來源：中商產業研究院整理

2023年上半年，南大光電主營產品包括特氣產品、Mo源產品，營收占比分別為74.68%、13.39%。

數據來源：中商產業研究院整理

5.凱美特氣

湖南凱美特氣體股份有限公司成立于1991年，是以石油化工尾氣火炬氣回收利用的專業環保企業。主要產品為高純食品級液體二氧化碳、液氧、液氮和液氬，廣泛應用于飲料、冶金、食品、煙草、石油、農業、化工、電子、萃取、冷鏈物流等多個領域。凱美特氣在鞏固二氧化碳氣體行業龍頭地位的基礎上，加速向全方位的電子特氣領域延伸，形成行業內具有較大影響力的專業電子特氣和混配氣體研發及生產加工基地，聚焦電子特氣的研發生產。

2023年前三季度，凱美特氣實現營業收入4.19億元，同比下降23.20%。2023年上半年，凱美特氣主營產品包括二氧化碳、氫氣、燃料類產品、特種氣體、空分氣體，營收占比分別為33.44%、30.36%、25.46%、8.45%、2.01%。

數據來源：中商產業研究院整理

數據來源：中商產業研究院整理

五、電子特氣行業發展前景

1.政策利好行業發展

近年來，我國先后推出了一系列產業政策，對集成電路及其配套產業鏈的發展予以重點推動支持，電子特種氣體也被列入了鼓勵發展的戰略性新興產業，旨在推動包括特種氣體在內的關鍵材料國產化，有力推動了電子特種氣體產業的發展。

2.受益集成電路、顯示面板等產業發展，電子特氣有望快速成長

隨著我國經濟由高速增長階段轉向高質量發展階段，高端制造業成為國家重點鼓勵發展的方向，整體市場規模快速增長。5G、人工智能、云計算等新一代信息技術的發展大幅增加了芯片、顯示面板等硬件的需求。近年來，國內晶圓廠處于密集擴產的周期，進而帶動了相關的上游原材料需求強勁增長。由此，作為關鍵材料的電子特種氣體的市場需求還會進一步擴大，行業有望快速成長。

3.國產替代為國內電子特種氣體企業帶來發展契機

電子特氣是半導體等高科技應用領域和戰略新興產業發展不可缺少的基礎原材料，電子特氣的國產化將大幅降低中國芯片制造商的制造成本，提高中國芯片制造業的競爭力。目前，國內電子特氣市場，特別是高端電子特種氣體國內自給率非常低。因此，特種氣體尤其是電子特氣國產化已迫在眉睫。未來，龍頭企業不斷填補高端電子特種氣體領域的國內空白，打破國外壟斷、逐步實現進口替代，行業成長空間可期。