中商情報網訊：半導體專用設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備，屬于半導體行業產業鏈的支撐環節。在整個芯片制造和封測過程中，會經過上千道加工工序，細分又可以劃出百種不同的機臺，占比較大市場份額的主要有：光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機、測試機、分選機、探針臺等。

一、產業鏈

半導體設備產業鏈中，上游為信息交互系統及設備本體構成；中游為半導體設備，光刻設備、刻蝕設備、薄膜沉積設備為三大核心設備；下游為半導體產品，主要分為四大類，集成電路、分立器件、光電子器件和傳感器。

資料來源：中商產業研究院

二、上游分析

1.信息交互系統

半導體設備上游中包括精密運動控制系統、伺服驅動系統和測試分選設備本體；精密運動控制系統作為核心部件，向伺服驅動系統分配運動指令，從而帶動測試分選設備本體運轉，對芯片進行分選。具體如下圖所示：

資料來源：中商產業研究院整理

2.伺服系統

伺服系統又稱隨動系統，是用來精確地跟隨或復現某個過程的反饋控制系統。伺服系統使物體的位置、方位、狀態等輸出被控量能夠跟隨輸入目標的任意變化的自動控制系統。它的主要任務是按控制命令的要求、對功率進行放大、變換與調控等處理，使驅動裝置輸出的力矩、速度和位置控制非常靈活方便。中商產業研究院預測，到2021年，中國伺服系統市場規模將達到224億元。

數據來源：中商產業研究院整理

下圖為我國伺服系統主要企業匯總一覽表：

資料來源：中商產業研究院整理

三、中游分析

1.市場規模

SEMI在其全球半導體設備市場統計報告中指出，全球半導體制造設備銷售額從2019年的598億美元猛增19％，達到2020年712億美元的歷史新高。中國首次成為全球最大的半導體設備市場，銷售額增長39％，達到187.2億美元。2021年第一季度全球半導體制造設備出貨金額較去年同期大幅增長51%，比上一季度也有21%的增長，達到236億美元，中國半導體制造設備出貨金額達59.6億美元。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

2.市場占比

從細分產品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備主要核心設備，分別占比24%、20%、20%。其次為測試設備和封裝設備，分別占比9%、6%。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

3.國產化情況

近年來，中國大陸半導體設備市場占比逐步提高。數據顯示，截至2020年第三季度，我國半導體設備在全球市場占比達26.5%。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

下圖為半導體設備細分產品國產化率情況及主要廠商匯總一覽表：

資料來源：中商產業研究院整理

4.重點企業分析

資料來源：中商產業研究院整理

資料來源：中商產業研究院整理

四、下游分析

1.半導體

半導體專用設備市場與半導體產業景氣狀況緊密相關，其中芯片制造設備是半導體專用設備行業需求最大的領域，下游新興產業的快速發展是半導體設備行業的最大驅動力。數據顯示，2020年全球半導體銷售額達4355.6億美元，同比增長5.98%，中國半導體銷售額達1508.0億美元。

數據來源：WIND、中商產業研究院整理

2.晶圓制造

數據顯示，2016年中國圓晶制造行業市場規模突破1000億元，到2019年，中國圓晶制造行業市場規模超過2000億元，達到2149.1億元。預計2021年，我國圓晶制造行業市場規模或達到2941.4億元。

數據來源：中商產業研究院整理

3.集成電路

集成電路在消費電子、高端制造、網絡通訊、家用電器、物聯網等諸多領域得到廣泛應用，已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一。數據顯示，2020年我國集成電路產量達2612.6億塊，2021年1-5月我國集成電路產量達1399.2億塊，同比增長48.3%。

數據來源：中商產業研究院數據庫

4.光電子器件

光電子器件是利用電-光子轉換效應制成的各種功能器件。數據顯示，2020年我國光電子器件產量達9722.9億只。2021年1-5月我國光電子器件產量達4755.7億只，同比增長43.8%。

數據來源：中商產業研究院數據庫

5.傳感器

傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。數據顯示，2019年中國傳感器市場規模2189億元，同比增長12.7%。中商產業研究院預測，2021年中國傳感器市場規模可達2953億元。

數據來源：中商產業研究院整理