奕斯偉“氣體回收裝置和外延設備”專利公布
2025-09-28
來源：愛集微
665
天眼查顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司“氣體回收裝置和外延設備”專利公布，申請公布日為2025年3月21日，申請公布號為CN119663436A。
本公開提供了氣體回收裝置和外延設備，所述氣體回收裝置用于回收外延反應腔室內的氣體，所述氣體回收裝置包括：導管和氣體收集容器，其中，所述導管的第一端與所述外延反應腔室連通，所述導管的第二端與所述氣體收集容器連通；所述導管的內部設置有用于促進氣體向所述氣體收集容器流動的導引部。
